¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ, "¹ÝµµÃ¼ °íµµÈ­¿¡ Çʼö¡¦SKÇÏÀ̴нº Ä÷Å×½ºÆ® Åë°ú"-À¯È­ ±èâÇö ±âÀÚ | 2024-11-29 08:28 


°í½Â¹ü À¯È­Áõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ °íµµÈ­¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇÏ´Â ±â¾÷"À̶ó¸ç "¸ÅÃâÀº FOUP Cleaner(DZ Ŭ¸®³Ê), ±âŸÀåºñ, ¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö µîÀ¸·Î ÀÌ·ïÁ®ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.

FOUP(DZ)Àº ¿þÀÌÆÛ¸¦ ÃÖ´ë 25Àå±îÁö ÀûÀçÇÏ´Â ¿ë±â·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼­ ¹ß»ýÇÏ´Â °¢Á¾ ºÒ¼ø¹°·ÎºÎÅÍ ¿þÀÌÆÛ¸¦ º¸È£ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÑ´Ù. ƯÈ÷ °øÁ¤ÀÌ ¹Ì¼¼È­µÇ°í Àִ¸¸Å­ FOUPÀÇ ¿À¿°¹æÁö ¿ª·®Àº Áß¿äÇØÁö°í ÀÖ´Ù. ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌÀÇ FOUP Cleaner´Â °¡°Ý °æÀï·ÂÀ» È®º¸ÇßÀ» »Ó ¾Æ´Ï¶ó È¿À²¼ºµµ ¶Ù¾î³ª´Ù. SKÇÏÀ̴нºÀÇ HBM(°í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®)¿¡ µé¾î°¡´Â FOUP Cleaner µî °íµµÈ­ ±â¼ú Æ®·»µå¿¡ ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î ´ëÀÀÇÏ°í ÀÖ¾î 2030³â ±Û·Î¹ú FOUP Cleaner ½ÃÀå(±Ô¸ð 2000¾ï¿ø)¿¡¼­ 40%ÀÇ Á¡À¯À² ´Þ¼ºÀ» ¸ñÇ¥·ÎÇÑ´Ù.

SKÇÏÀ̴нº·ÎºÎÅÍ SiCN(½Ç¸®ÄÜ Ä«º¸³ªÀÌÆ®¶óÀ̵å)¿ë PECVD Ä÷¸®ÆÄÀ× Å×½ºÆ®¸¦ ¿Ï·áÇß´Ù´Â Á¡µµ ±àÁ¤ÀûÀÌ´Ù. ÇöÀç SiCN PECVD ½ÃÀåÀº ¾à 500~600¾ï ±Ô¸ðÀε¥ 2030³â±îÁö 4000~5000¾ï¿ø ±Ô¸ð·Î Ä¿Áú Àü¸ÁÀÌ´Ù.

°í ¿¬±¸¿øÀº "HBM ±â¼úÀÇ µîÀå°ú ÇÏÀ̺긮µå º»µùÀÇ ±â¼ú·Î SiCN PECVD ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡Çß´Ù"¸ç "ÇöÀç±îÁö ±Û·Î¹ú Åé2 Àåºñ»ç¸¸ ¾ç»ê °¡´ÉÇÑ »ó´çÇÑ ±â¼úÀ庮ÀÌ ÀÖ´Â »ç¾÷À̾úÁö¸¸, ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â SKÇÏÀ̴нº Ä÷¸®ÆÄÀ× Å×½ºÆ®¸¦ ±¹³» À¯ÀÏÇÏ°Ô Åë°úÇØ ³»³â Àü°øÁ¤¿ë PECVD Àåºñ 3´ë¸¦ ³³Ç°ÇÒ ¿¹Á¤"À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.

ÀÌ¿Ü¿¡µµ ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â µ¿ÇØ½Ã¿Í ÆóÇöó½ºÆ½À» ÀÌ¿ëÇÑ ÆóÀ¯¸¦ ¸¸µé¾î ¼ö¼Ò¸¦ »Ì¾Æ³»´Â ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ¼öÇàÇß´Ù. ÇØ´ç ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÅëÇØ 98% ÀÌ»ó ¼øµµ¸¦ °¡Áø ¼ö¼Ò¸¦ »ý»êÇÏ´Â ±â¼úÀ» ±¹³» ÃÖÃÊ·Î È®º¸ÇØ 2026³â ¾ç»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.



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