|
Á¦¸ñ : [½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî] <<< ½ê¹Ì½Ã½ºÄÚ Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ¼³¸íµå¸³´Ï´Ù >>> |
|
±Û¾´ÀÌ : big123 |
ÀÛ¼ºÀÏ : 2011-11-17 14:40:09 |
Á¶È¸¼ö : 4821 Ãßõ¼ö : 4 |
|
|
Loading Time [ Sec ] CI136510 |
ÀÌ ±ÛÀÌ ºñ»óÀå °Ô½ÃÆÇ¿¡¼ ¸¶Áö¸·ÀÌ µÇ°Ú±º¿ä.
¾Æ·¡ÀÇ ¸ðµç³»¿ëÀº ½ê¹Ì½Ã½ºÄÚ È¨ÆäÀÌÁöÀÇ Á¦Ç°¼Ò°³¿¡ Àִ°ÍÀ» Á¦°¡ ´Ù½ÃÇѹø Ç®¾î¼ ¼³¸í µå¸®´Â°ÍÀÔ´Ï´Ù.(Ʋ¸° ³»¿ëÀÌ À־ ÀÌÇØ ¹Ù¶ø´Ï´Ù)
Á¦°¡ ½ê¹Ì½Ã½ºÄÚ(SemiSysco)»çÀÇ Á÷¿øÀÌ ¾Æ´ÑÀÌ»ó ¿Ïº®ÇÑ ¼³¸íÀº µå¸®±â ¾î·Á¿ì³ª ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡ ÀÏÇÏ°í ¶ÇÇÑ ½ê¹Ì½Ã½ºÄÚ(SemiSysco)»çÀÇ Á¦Ç°À» »ç¿ëÇØ º¸¾Ò±â¿¡ µµ¿òÀÌ µÇ°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.
******************************************************* ÇöÀç ±×¸®°í ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ ¹ÝµµÃ¼, LCD, OLED´Â ¼öÀ²(Yield)ÀÇ ½Î¿òÀÔ´Ï´Ù. (ÀûÀºµ·À» µéÀÌ°í ÃÖ»óÀÇ Output À» ³¾¼öÀֱ⿡) ±×·¡¼, ½ê¹Ì½Ã½ºÄÚÀÇ Á¦Ç°Àº ¹ÝµµÃ¼¼³ºñȸ»ç ¸øÁö¾ÊÀº Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ´ã´çÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ********************************************************
1. SmartEPD.(Àû¿ë°¡´ÉºÐ¾ß : ¹ÝµµÃ¼, OLED, LCD) 1) ÀÌ Á¦Ç°ÀÌ »ç¿ëµÇ´Â °øÁ¤Àº Dry Etch¶ó´Â ½Ä°¢°øÁ¤ ÀÔ´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼´Â ¼ö¸¹Àº °øÁ¤ÀÌ ¹Ýº¹µÇ¾î Á¦Ç°ÀÌ ¸¸µé¾î Áý´Ï´Ù. Dry EtchingÀº ƯÁ¤¹°ÁúÀÇ ¸·ÁúÀ» Plasma¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ½Ä°¢ÇÔÀ¸·Î¼ ƯÁ¤ºÎºÐÀÇ ¸·ÁúÀ» Á¦°ÅÇϴ°̴ϴÙ.
À̶§, ¹ÝµµÃ¼¼³ºñ¿¡¼ 1ºÐÀ̶ó´Â ½Ã°£À» Etching(½Ä°¢)À» ÇÑ´Ù°í ÇÒ¶§ ¸ðµç Wafer°¡ µ¿ÀÏÇÑ Thickness(¸·ÁúÀÇ µÎ²²)°¡ ³ª¿À¸é ¿Ïº®ÇÒ°Ì´Ï´Ù. ±×·¯³ª, ±×·¸°Ô µÇÁö¸¦ ¾Ê½À´Ï´Ù. ¹Ì¼¼ÇÑ ¿ÀÂ÷°¡ ¹ß»ýÇÏ°Ô µÇ´Â°ÅÁÒ.
Etching(½Ä°¢)À» ÁøÇàÇÏ¸é ´ÙÀ½(¾Æ·¡ÀÇ)ÀÇ ¶Ç´Ù¸¥ ¸·ÁúÀÌ ³ª¿À´Â ½ÃÁ¡ÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ°ÍÀº RecipeÀÇ ½Ã°£Á¦¾î¸¦ ÅëÇؼ µÇ´Â°ÍÀÌ ¾Æ´Õ´Ï´Ù. Á¤È®ÇÑ TimingÀ» Àâ¾Æ³»´Â°ÍÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¼öÀ²°ü·¹¿¡ ¸Å¿ì ¸Å¿ì ¸Å¿ì Áß¿ä ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Á¤±³ÇÑ °øÁ¤TimingÀ» Àâ¾Æ³»´Â Á¦Ç°ÀÌ SamrtEPD Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. (¹ÝµµÃ¼´Â 1ÃÊÀÇ ½Ã°£ÀÌ À߸øµÇ¾îµµ Reject ¶Ç´Â ¼öÀ²¿¡ Ä¡¸íÀûÀÔ´Ï´Ù)
ÀÌ°ÍÀÇ ÇÙ½É ±â¼úÀº ±¤Çбâ¼ú + HardwareÀûÀαâ¼ú + Software Algorithm±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÀçÇö¼º ¶ÇÇÑ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏÁö¿ä.
2. Smart HMS.(Àû¿ë°¡´ÉºÐ¾ß : ¹ÝµµÃ¼, OLED, LCD) ÀÌ Á¦Ç°Àº »ç¿ëÇØ º¸Áö ¸øÇßÀ¸³ª ÀÌÇØ ¹× ¼³¸í °¡´ÉÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Áø°ø¼³ºñ(Dry Etch, CVD, Sputtering)´Â Áø°ø °ü¸®°¡ ¸Å¿ì Áß¿äÇÕ´Ï´Ù. Wafer°¡ °øÁ¤ÁøÇàÇϴ°÷À» Chamber(¿ì¸®¸»·Î ¹æ?)¶ó ºÎ¸¨´Ï´Ù. ÀÌ Chamber´Â Dry Pump + Turbo Pump¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© Ç×»ó Áø°ø»óŸ¦ À¯ÁöÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Áø°ø»óÅ¿¡¼ °¡½º¸¦ ÁÖÀÔÇÑÈÄ¿¡ RF¸¦ Turn OnÇϸé Plasma°¡ Çü¼ºµË´Ï´Ù.
¸¸¾à Áø°ø»óÅ°¡ À¯Áö°¡ ¾ÈµÈ´Ù¸é ¿ÜºÎÀÇ °ø±â°¡ Chamber·Î À¯ÀԵǰÚÁÒ. ÀÌ·¯ÇÑ »óȲÀº ¿ÜºÎ°ø±âÀÇ À¯ÀÔÀ¸·ÎÀÎÇØ PlasmaÀÇ ºÒ¾ÈÀü°ú °øÁ¤¿¡ ¹®Á¦¸¦ À¯¹ß ½Ãŵ´Ï´Ù. Chamber Leak·Î ÀÎÇØ ¿ÜºÎ°ø±â°¡ À¯ÀԵǴ°ÍÀ» °¨ÁöÇϴ°ÍÀÌ Smart HMS ÀÔ´Ï´Ù.
ÀÌ Á¦Ç°¶ÇÇÑ °øÁ¤¼öÀ²°ü¸®¿¡ ¸Å¿ì µµ¿òÀ» ÁÖ´Â Á¦Ç° ÀÔ´Ï´Ù.
3. EGIS.(Àû¿ëºÐ¾ß : LCD. ±×¸®°í, LCD¿øÆÇ(ex;»ï¼ºÄÚ´×)) ÀÌ Á¦Ç°µµ »ç¿ëÇØ º¸Áö ¸øÇßÀ¸³ª ÀÌÇØ ¹× ¼³¸í °¡´ÉÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. LCD5¼¼´ë ÀÌ·±¸» ¸¹ÀÌ µé¾î º¸¼ÌÀ»°Ì´Ï´Ù. LCD 5¼¼´ë¸é LCDÀÇ Å©±â°¡ ´ë·« »ç¹«½Ç¿¡¼ »ç¿ëÇϴ å»ó 6°³ Å©±â? ÀÔ´Ï´Ù. ´õ ŬÁöµµ ¸ð¸£°Ú³×¿ä. ÀÌ·± Å« LCD¸¦ ¿øÇÏ´Â »çÀÌÁî·Î À߶ó¼ ÆË´Ï´Ù. 42", 50" µî...
ÀÌ·± Å« LCD´Â µÎ²²µµ ¸Å¿ì ¾ã½À´Ï´Ù.(±×³É ¸Å¿ì ¾ãÀº À¯¸®¶ó°í ÀÌÇØÇÏ¸é µË´Ï´Ù) LCD´Â Äܺ£À̾ ÀÇÇؼ ¼³ºñ°£À» À̵¿ÇÕ´Ï´Ù. ¸Å¿ì ¾ãÀºµ¥´Ù°¡ ¶ÇÇÑ Ãæ°Ý¿¡ ¾àÇÏ´Ï ±úÁö±â ½±°ÚÁÒ?
EGIS¸¦ Åë°úÇÏ¸é¼ LCD¿øÆÇÀÇ Àü¸é ¹× EdgeÃø¸é±îÁö Çѹø¿¡ °Ë»çÇÏ´Â ¼³ºñÀÔ´Ï´Ù.
°³ÀÎÀûÀ¸·Î´Â ÀÌ ¼³ºñ¿¡ Particle Defect°¨Áö ±â´ÉÀÌ Ãß°¡µÇ¸é ÁÁ°Ú´Ù´Â »ý°¢À» ÇÕ´Ï´Ù.
4. OWI.(Àû¿ëºÐ¾ß : LCD. ±×¸®°í, LCD¿øÆÇ(ex;»ï¼ºÄÚ´×)) ÀÌ Á¦Ç°µµ »ç¿ëÇØ º¸Áö ¸øÇßÀ¸³ª ÀÌÇØ ¹× ¼³¸í °¡´ÉÇÑ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. À§ÀÇ Á¦Ç°¿¡¼ ¼³¸íÇÏ¿´µíÀÌ LCD´Â ¸Å¿ì ¾ãÀº Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ °øÁ¤µµ ¸Å¿ì ´Ù¾çÇÕ´Ï´Ù. ¸¹Àº °øÁ¤À» ÁøÇàÇÏ¸é¼ LCD앏Àº À¯¸®ÆÇÀÌ Èְųª ¿ï··¿ï·· ¿ì´Â(??)°æ¿ì°¡ ÀÖ°ÚÁÒ? ÀÌ°ÍÀÇ ÁÁÀº¿¹¸¦ µéÀÚ¸é ºÒ·®°Å¿ïÀ» µé¼ö°¡ Àְڳ׿ä. Àú°¡ÀÇ ºÒ·®°Å¿ïÀ» º¸¸é °Å¿ï¿¡ ºñÄ£»óÀÌ ÈÖ¾îÁø °æ¿ì°¡ ÀÖÁÒ? LCD¿øÆÇÀÇ ÈÖ¾îÁø°ÍÀ» Àâ¾Æ³»´Â ¼³ºñ¶ó°í º¸½Ã¸é µÇ°Ú³×¿ä. ÀÌÁ¦Ç° ¶ÇÇÑ Á¦Ç° ¼öÀ²Çâ»ó¿¡ µµ¿òÀ» ÁÖ´Â ¼³ºñÀÔ´Ï´Ù.
ÀÌ·¸°Ô Àû°í³ª¼ º¸´Ï EGIS¿Í OWI ÀÇ Á¦Ç°À» Çϳª·Î ¸¸µå´Â°Ô ´õ ÁÁÁö ¾Ê¾Ò³ª ÇÏ´Â »ý°¢µµ µå³×¿ä. °Å±â´Ù°¡ Particle Defect°Ë»ç ±â´Éµµ ³ÖÀ¸¸é ÁÁ°ÚÁö¿ä.
¹¹ Àúº¸´Ù ¶È¶ÈÇϽźеéÀÌ ¸¸µéÀ¸¼ÌÀ¸´Ï ÀÌÀ¯°¡ ÀÖÀ¸¸®¶ó »ý°¢ ÇÕ´Ï´Ù.
ÀÌ°ÍÀ¸·Î 38Ä¿¹Â´ÏÄÉÀ̼Ç-½ê¹Ì½Ã½ºÄÚ°Ô½ÃÆÇ¿¡ ´õÀÌ»ó ±ÛÀ» ¾È¿Ã¸®°Ú½À´Ï´Ù. ¸ðµÎ Çູ Çϼ¼¿ä.
|
¡Ø ÁÖÁÖÅä·Ð¹æÀÇ ±ÛÀº ³×ƼÁðÀÌ ÀÛ¼ºÇÑ ±Û·Î ´ç»ç¿Í ÀüÇô ¹«°üÇϸç ÃÖÁ¾Ã¥ÀÓÀº ÀÌ¿ëÀÚ¿¡°Ô ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Àå¿ÜÁֽĽü¼, ºñ»óÀåÁֽĽü¼Ç¥ Á¤º¸Á¦°ø
ºñ»óÀåÁֽİŷ¡, Àå¿ÜÁֽĽÃÀå NO.1 38Ä¿¹Â´ÏÄÉÀ̼Ç
½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) ÁÖÁÖÅä·Ð¹æ,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) ±â¾÷°³¿ä,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) ÇöÀç°¡,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) ÁÖ°¡,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) °ü·Ã´º½º,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) ÁÖ½Ä,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) ±â¾÷°¡Ä¡,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) ½ÇÀû,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) ÁÖ´ç¼øÀÌÀÍ,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) ¸ÅÃâ,½º¸¶Æ®¼Ö·ç¼ÇÁî(±¸.¿¡µð½¼À̺êÀÌ) »óÀå,,½ê¹Ì½Ã½ºÄÚ,¿¡µð½¼À̺êÀÌÀå¿Ü½ÃÀå,ºñ»óÀå½ÃÀå,Àå¿ÜÁÖ½Ä,ºñ»óÀåÁÖ½Ä,¼Ò¾×ÁÖÁÖ,ÁÖÁÖµ¿È£È¸,ÁÖÁÖ°Ô½ÃÆÇ,°ø¸ð,¼Ò¾×°ø¸ð,Àå¿Ü½ÃȲ,ºñ»óÀåÁֽĽü¼,ÁÖ½ÄÂ÷Æ®,ÁÖ°¡,ºñ»óÀåÁֽİŷ¡,½Ã¼¼Á¤º¸,¼Ò¾×ÁÖÁÖ¸ðÀÓ,ÇÁ¸®º¸µå,3½ÃÀå,ÄÚ½ºÄÞ,Äڳؽº,Á¦ÁÖ½Ä3½ÃÀå,KONEX,KOSCOM,ÆŽº³Ý,KOSDAQ,KOSPI,Àå¿ÜÁֽĻçÀÌÆ®,¼Ò¾×ÁÖÁÖ¸ðÀÓ,ºñ»óÀåÁֽİŷ¡»çÀÌÆ®,»óÀåÆóÁö ÁÖ½Ä,ÅðÃâ Á¾¸ñ
|