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2024/11/14 [¼¼¸Þ½º]ºÐ±âº¸°í¼­ (2024.09)
2024/08/14 [¼¼¸Þ½º]¹Ý±âº¸°í¼­ (2024.06)
2024/05/16 [¼¼¸Þ½º]ºÐ±âº¸°í¼­ (2024.03)
2024/04/01 [¼¼¸Þ½º]¿¬°á°¨»çº¸°í¼­ (2023.12)
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1993-01-04               Çѱ¹µð¿£¿¡½º(ÁÖ)  ¼³¸³
1993-10-00               ±â¾÷ºÎ¼³¿¬±¸¼Ò  ¼³¸³
1994-03-02               ¿Ü±¹ÀÎÅõÀÚ±â¾÷  µî·Ï
1997-09-00               S2-93  ÀÎÁõÃëµæ  (¹Ì±¹»ê¾÷¾ÈÀü  °ü¸®±Ô°Ý,  ¹Ì±¹ÁÖÁ¤ºÎ) 
1999-09-00               IR52  À念½Ç»ó  ¼ö»ó  (K-SPIN  ½ÅÁ¦Ç°  °³¹ß) 
1999-10-16               öž  »ê¾÷ÈÆÀå  ¼öÈÆ
2000-03-30               °úÇбâ¼úºÎÀå°ü»ó  ¼ö»ó  (5,000°³  ¿ì¼ö±â¾÷  ¿¬±¸¼Ò)
2000-04-00               S-MARK  ÀÎÁõ  (Çѱ¹»ê¾÷¾ÈÀü°ü¸®°ø´Ü) 
2000-10-00               Çѱ¹¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÇùȸÀå»ó  ¼ö»ó  (300mm  ¿þÀÌÆÛ¿ë  ½ºÇÉ¿¡Ã³)
2000-11-00               Á¦30ȸ  Á¤¹Ð±â¼úÁøÈï´ëȸ  »ê¾÷ÀÚ¿øºÎ  Àå°ü»ó  ¼ö»ó 
2000-11-30               Á¦37ȸ  ¹«¿ªÀÇ  ³¯  1õ¸¸ºÒ  ¼öÃâž  ¼ö»ó
2002-09-00               ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷  20ÁÖ³â  ±â³äÇà»ç  À¯°øÀÚ  ǥâ  (»ê¾÷ÀÚ¿øºÎÀå°ü)
2002-10-00               K-SCRUBBER12  S-MARK  ÀÎÁõȹµæ
2002-12-00               K-SPIN12  S-MARK  ÀÎÁõȹµæ
2003-04-00               ³ëµ¿ºÎ  »ó¹Ý±â  ½Å³ë»ç¹®È­  ¿ì¼ö±â¾÷  ¼ö»ó 
2003-05-00               Á¦38ȸ  ¹ß¸íÀÇ  ³¯  Á÷¹«  ¹ß¸íºÎ¹®  ´ëÅë·É  ǥâ
2003-11-00               ¹«¿ªÀdz¯  ±â³ä  ±¹»êÈ­  À¯°øÀںι®  »êÀÚºÎÀå°ü»ó  ǥâ
2003-12-00               KT(±¹»ê½Å±â¼ú)  ¸¶Å©  10ÁÖ³â  ±â³ä½Ä  ±¹¹«ÃѸ®  ǥâ
2003-12-00               ¸Å¿±½Ä  ¼¼Á¤  ¹×  ¿¡ÄªÀåºñ(SWP  3004)  7ÁÖÂ÷  IR52  À念½Ç»ó  ¼ö»ó
2004-02-27               Á¦6ȸ  »ê¾÷±â¼úÇõ½Å´ë»ó  ÀÌõ»ó(»ê¾÷ÀÚ¿øºÎ  Àå°ü»ó)  ¼ö»ó
2004-09-16               Áß±¹  ºÏ°æ»ç¹«¼Ò  °³¼³
2004-10-15               »ê¾÷±â¼úÁøÈïÀ¯°øÀÚ  ´ëÅë·É  ǥâ
2005-02-25               ¼¼¸Þ½º(ÁÖ)·Î  »óÈ£º¯°æ
2005-05-19               ¹ß¸íÀdz¯  »ê¾÷ÀÚ¿øºÎ  Àå°ü»ó  ¼ö»ó
2005-06-30               ¼¼°èÀÏ·ù»óÇ°  ¼±Á¤
2005-08-23               ºÎÇ°¼ÒÀç  »ç¾÷ÀÚ  ¼±Á¤  (Dry  Etcher  ºÎ¹®)
2005-12-09               ±âÈ↓±¸¼Ò  °³¼³
2005-12-30               ´ë¸¸»ç¹«¼Ò  °³¼³
2006-10-00               IRIS  ´ëÇѹα¹  ±â¼ú´ë»ó  °ú±âºÎÃѸ®»ó  ¼ö»ó
2007-03-00               Áß±¹  »óÇػ繫¼Ò  °³¼³
2007-05-00               ƯÇãû  ƯÇã±â¼ú»ó  Ã湫°ø»ó  ¼ö»ó
2008-10-00               Display  ¼¼Á¤ÀåÄ¡ºÎ¹®  ¼¼°è1À§  ´Þ¼º
2009-11-00               IR52  À念½Ç»ó  ¼ö»ó  (LOZIX)
2011-10-00               Oxide  Etcher  Çѱ¹¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÇùȸÀå»ó  ¼ö»ó
2011-10-00               LOZIX  ´ëÅë·É  ǥâ
2013-01-03               ¼¼Å©·Ð(ÁÖ),  ÁöÀÌ¿¡½º(ÁÖ)¸¦  ÇÕº´ 
 
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2À§ ¿À¸§Å׶óǻƽ 47,500  1,000 
3À§ ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ 12,750  0 
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5À§ ¿¥µð¹ÙÀ̽º(±¸.¸Þ 7,600  100 

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